半导体测试系统中使用的仪器
仪器类型 在半导体测试系统中的主要应用 波形发生器 产生模拟激励波形 信号处理器 对模拟波形进行分析（利用数字信号处理） 电源 向测试系统提供电力 示波器 对器件的波形进行捕获和分析 射频信号发生器 产生射频激励波形 时间/频域源 供系统和被测件用的时间基准 频谱分析仪 对波形频谱成分进行分析 光谱源 产生供光波器件用的信号 光波分析仪 对来自光波器件的信号进行分析 逻辑分析仪 对数字波形进行捕获和显示 协议分析仪 对通信协议进行分析 参数测量装置 激励/测量电压和电流 引脚电子测试设备 激励/测量数字输入/输出 定序器/APG 产生数字矢量序列
页:
[1]