LCOS(Liquid Crystal on Silicon)属于新型反射式微LCD,其结构是在硅片上“生长”液晶,利用集成电路工艺制作驱动面板(又称CMOS-LCD),经过研磨技术磨平后镀上铝当反射镜,形成CMOS基板,再将CMOS基板与含有透明电极的玻璃(ITO)极板贴合,再注入液晶,进行封装(见图 1)。在单晶硅片上集成CMOS和存贮电容器的阵列,通过开孔把漏电极和像素电极连结,像素电极用铝做成反射电极。为防止强光照射沟道,加一层金属挡光层。另一侧基板是ITO电极的玻璃板。液晶层盒厚受像素尺寸限制,一般盒厚为几微米。